菲希爾X熒光射線測(cè)厚儀測(cè)量原理

菲希爾X熒光射線測(cè)厚儀測(cè)量原理

激發(fā)過(guò)程

儀器內(nèi)部的X射線源發(fā)射高能初級(jí)X射線，照射到被測(cè)樣品表面。

樣品中的原子（包括鍍層和基體材料）吸收這些X射線能量，導(dǎo)致其內(nèi)層電子（如K層或L層）被激發(fā)并脫離原子。

熒光發(fā)射

當(dāng)外層電子躍遷回內(nèi)層空位時(shí)，會(huì)釋放出具有特定能量的次級(jí)X射線，即特征X射線熒光。

不同元素發(fā)出的熒光X射線能量是的（如金Au的Lα線約為9.7 keV，鎳Ni的Kα線約為7.5 keV）。

信號(hào)檢測(cè)與分析

儀器配備高分辨率探測(cè)器（如硅漂移探測(cè)器 SDD 或比例計(jì)數(shù)器），用于接收并分辨這些特征X射線的能量和強(qiáng)度。

通過(guò)分析熒光信號(hào)的強(qiáng)度，結(jié)合已知的物理模型和校準(zhǔn)曲線，可計(jì)算出各元素鍍層的厚度；通過(guò)分析能量，可識(shí)別元素種類，實(shí)現(xiàn)成分分析。